Повноцінна безпека, вбудований демонстраційний стенд, універсальність заряджання
Розміри кузова
Комбінована точність
Методи навігації
Вантажі на платформі
Введення в програму
*Автоматична обробка матеріалів на краях напівпровідникового дроту
*Підходить для процесів із вільними виробничими циклами
*Підходить для окремих ситуацій потоку матеріалів
*Підходить для руху людей на землі та транспортування матеріалів без обмежень
*Придатне для цехового обладнання не виправлено та підтримує зміну макета
*Застосовується до тесту Wafer BG WS DB WB Final TEST
*Відповідність стандартам Cleanroom ISO14644-14, стандартам SEMI S2 і ESD
Система зарядки
Одна акумуляторна станція
| Обсяг зберігання | 1/2 контейнера + 1 змінний контейнер |
| Чистий клас | клас 1К |
| Система регулювання | PLC |
| Система даних | BCMS (необов'язково) |
| Час заміни батареї | 3 хвилин |
Акумуляторна станція
| Обсяг зберігання | ≥5 бункерів |
| Чистий клас | клас 1К |
| Система регулювання | PLC |
| Система даних | BCMS |
| Час заміни батареї | 4 хвилин |
Система керування батареєю
Введення в програму
*Автоматизована обробка матеріалів у виробництві напівпровідників
* Він підходить для короткого циклу та кількох комбінованих виробничих ситуацій
*Підходить для роботи «точка-точка» з великим об’ємом, великою вагою та низькою точністю стикування
*Підходить для ДУХОВКИ, вигоряння, кошиків, ящиків
* Відповідає стандартам Cleanroom ISO14644-14, стандарту SEMI S2 і стандартам ESD
додатків
Полірування та транспортування вафель
СМТ МГЗ завантаження та розвантаження
ПІЧ завантаження та розвантаження
E-rack перевалка
Блок4. No.358 Jinhu Road, район Pudong, Шанхай, Китай
EN 
CN
ES
RU
JA
KO
DE
FR
IT
AR
TL
CS
NL
FI
EL
HI
PL
PT
IW
ID
VI
HU
TH
TR
FA
MS
