Зберігання високої щільності, високий коефіцієнт використання простору, повне використання простору по висоті
Автоматизоване тестування навчальних матеріалів на рівні матеріалів
Швидка реалізація
Високе використання простору
Інженерія напівпровідникових фабрик
Введення в програму
Автоматизоване зберігання та управління матеріалами при виробництві напівпровідників
Відноситься до :
1. Зберігання високої щільності, високе використання простору, повне використання простору висоти
2.Швидкий удар
3.Інтегровано в систему управління матеріалами цеху
4. Швидка реалізація, автоматичний тест рівня навчання
5. Сумісний з ARV/OHT/OHS/ручними та іншими автоматичними процесами
6.Відповідає стандартам чистих приміщень ISO14644-14, стандарту SEMI S2 та стандартам ESD
Введення функції
* Використовується для онлайн-зберігання напівпровідників, підтримує FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray та інші
*Може зістиковуватися з ARV, підтримує ручне завантаження та розвантаження
* Відповідає стандартам Cleanroom ISO14644-14, стандарту SEMI S2 і стандартам ESD
*Стандартний інтерфейс програмного забезпечення SEMI
*Модульна конструкція
Блок4. No.358 Jinhu Road, район Pudong, Шанхай, Китай
EN 
CN
ES
RU
JA
KO
DE
FR
IT
AR
TL
CS
NL
FI
EL
HI
PL
PT
IW
ID
VI
HU
TH
TR
FA
MS
